參數查看，快速清晰。

推進大膽發現從未如此容易。4200A-SCS 參數分析儀從設置到運行檢定測試的時間減少高達 50％，從而實現的測量和分析能力。此外，嵌入式測量專業知識提供的測試指導，并讓您對最終結果充滿信息。

特點

• 用于 DC IV、CV 和脈沖 IV 測量類型的高級測量硬件
• 立即使用 Clarius 軟件中所含的數百種用戶可修改應用程序測試開始測試
• 自動實時參數提取、數據繪圖、分析函數
 

準確的 C-V 表征

使用吉時利的電容-電壓單元 (CVU) 4215-CVU 測量一位數飛法。通過將 1 V AC 電源集成到吉時利行業的 CVU 架構中，4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率下進行低噪聲電容測量。

特點

• 同類產品中能夠驅動1 V AC 電源電壓的 CV 表
• 1 kHz 頻率，分辨率從1 kHz 到 10 MHz
• 測量電容、電導和導納
• 使用 4200A-CVIV 多路開關最多可測量四個通道

使用 4215-CVU 進行 Femtofarad (1e-15F) 電容測量

測量、 切換、 重復。

4200A-CVIV 多通道切換模塊自動在 I-V 和 C-V 測量之間切換，無需重新布線或抬起探頭端部。 與競爭產品不同，四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可視查看，可快速完成測試設置，并在出現意想不到的結果時輕松排除故障。

特點

• 無需重新布線即可將 C-V 測量移動到任何設備終端
• 用戶可配置低電流功能
• 個性化輸出通道名稱
• 查看實時測試狀態

穩定的低電流測量，適用于 I-V 檢定

使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模塊，您可以在高電容系統中實現穩定的低電流測量。4200A-SCS 有四種型號的源測量單位 (SMU) 可供選擇，可通過定制滿足您所有的 I-V 測量需求。通過提供現場可安裝單元和可選的預放大器模塊，Keithley 可確保您獲得最準確的低電流測量，而停機時間很少甚至沒有。

特點

• 不必將儀器送回工廠即可增加 SMU
• 進行 飛安測量
• 多達 9 個 SMU 通道
• 針對長電纜或大卡盤進行了優化

帶分析探測器和低溫控制器的集成解決方案

4200A-SCS 參數分析儀支持許多手動和半自動晶片探測器和低溫控制器，包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。

特點

• “點擊"測試定序
• “手動"探測器模式測試探測器功能
• 假探測器模式無需移除命令即可實現調試

降低成本并保護您的投資

吉時利保障計劃以按需服務事件的一小部分成本提供快速、高質量的服務。 只需點擊一下或一個電話即可獲得維修服務，在此過程中，無需報價或填寫采購單，也不會有審批延誤。

了解詳情

生物傳感器檢定

生物傳感器或 bioFET 將對分析物的生物響應轉換為電信號。集成到 4200A-SCS 中的 Clarius 軟件包括一個用于測試 bioFET 的項目。以此為起點檢定生物傳感器的傳輸和輸出特性，并從這里展開工作。

飛法電容測量

使用 4215-CVU 模塊測量亞毫微微法拉電容。通過驅動 1 V AC，在測量 1 fF 電容器時，4215-CVU 的噪聲水平可低至 6 attofarad。這只是 Clarius 軟件隨附的用于測量電容和提取重要參數的數十種應用程序之一。

使用 4215-CVU 進行 Femtofarad (1e-15F) 電容測量

進行電容和交流阻抗測量

特點

• 內置飛法測量功能
• 從 1kHz 到 10MHz 的 10,000 個頻率步進
• 使用用戶庫定制任何設備的任何測試

半導體和 NVM 可靠性

通過全面脈沖 I-V 檢定在測試中利用新技術。 4200A-SCS 為 NVRAM 技術提供支持和即用型測試，從浮動門電路閃存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。 電流和電壓雙源和測量功能同時支持瞬態和 I-V 域檢定。

評估 MOSFET 設備的熱載波感應劣化

用于非易失內存測試的單納秒脈沖解決方案

非易失內存技術脈沖 I-V 檢定

提供適合高阻抗應用的 C-V 測量功能

采用 Keithley 的自定義極低頻 C-V 技術分析高電阻樣本的電容。 該技術可通過僅使用源測量單元 (SMU) 儀器實現應用，同時可與 4210-CVU 結合使用，執行更高頻率測量。

4200A-SCS 參數分析儀可在高阻抗設備上執行極低頻電容-電壓測量

簡化 MOSFET/MOSCAP 設備檢定的提示和技術

特點

• .01 ~ 10 Hz 頻率范圍，1 pF ~ 10 nF 靈敏度
• 3? 位典型分辨率，最小典型值 10 fF

使用長電纜或電容式夾具時進行測試

當測試需要非常長的電纜或具有較高電容的夾具時，請使用 4201 或4211-SMU。這些 SMU 非常適合連接 LCD 測試站、探測器、開關矩陣或任何其他大型或復雜的測試儀。現場可安裝版本使您無需將設備返回服務中心即可增加容量。

使用 4201-SMU 和 4211-SMU，通過高測試連接電容進行穩定的低電流測量

材料電阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS，可通過四點同軸探頭或范德堡法輕松測量電阻率。 內含測試可自動重復執行范德堡計算，節省您寶貴的研究時間。 10aA 的電流分辨率和大于 10----16 歐姆的輸入阻抗可提供更準確和精準的結果。

4200A-SCS 參數分析儀和四點同軸探頭可用于執行半導體材料電阻率測量

4200A-SCS 參數分析儀可用于執行范德堡和霍爾電壓測量

MOSFET 檢定

4200A-SCS 可容納所有必要的儀器，用于通過組件或晶圓測試執行全面的 MOS 設備檢定。 內含測試和項目可以解決 MOSCap 的氧化物厚度、門限電壓、摻雜濃度、移動離子濃度等問題。 只需觸摸一個儀器盒中的按鈕，即可運行所有這些測試。

4200A-SCS 參數分析儀可用于執行 MOS 電容 C?V 檢定

從實驗室到晶圓廠的自動化控制

Keithley 自動化檢定套件 (ACS) 可控制您的設備。無論您是需要控制工作臺上的幾臺儀器，還是需要自動化整個測試機架以進行生產，ACS 均能為設備檢定、參數測試、可靠性測試和簡單的功能測試提供靈活的交互式環境。

• 執行簡單的一次性測試或構建復雜的項目樹
• 在 ACS 中使用 Python 編寫代碼以獲得無限靈活性和控制力
• 手動或自動晶圓探測器控制
• 數據管理和統計分析功能

開始自動化

Clarius+ 分析套件

通過 Clarius+ 軟件套件，您可以輕松獲得材料和設備的檢定洞察。Clarius 在 4200A-SCS 上本地運行，可規劃、配置和分析測試結果。此外，還可將 Clarius 安裝在任何 Windows 10 PC 上，以便在實驗室中運行測試之前規劃和配置測試，或在收集數據后分析數據。

• 200 多項預先配置的測試，可加速實驗室運轉
• 由 Keithley 工程師精心收集的真實數據
• 內置上下文幫助和應用程序指南
• 提供監控模式，可實時查看結果

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